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當前位置:首頁產(chǎn)品中心三維X射線顯微鏡(XRM)Freiberg-Omega/Theta XRDX射線衍射儀-單晶硅定向儀

X射線衍射儀-單晶硅定向儀
產(chǎn)品簡介

弗萊貝格Omega/Theta X射線衍射儀-單晶硅定向儀能提供自動的晶格定位和樣品校準的在線解決方案,我們專注于超高速和準確的Omega掃描方法,可在幾秒鐘內(nèi)確定完整的晶體取向??商砑佣S(X-Y)或三維掃描,全自動化的搖擺曲線測量,使得XRD單晶定向儀成為單晶制造商質(zhì)量控制環(huán)節(jié)中一個重要組成部分。

產(chǎn)品型號:Freiberg-Omega/Theta XRD
更新時間:2024-07-11
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:1915

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弗萊貝格Omega/Theta X射線衍射儀-單晶硅定向儀能提供自動的晶格定位和樣品校準的在線解決方案,我們專注于超高速和準確的 Omega掃描方法,可在幾秒鐘內(nèi)確定完整的晶體取向??商砑佣S(X-Y)或三維掃描,全自動化的搖擺曲線測量,使得XRD單晶定向儀成為單晶制造商質(zhì)量控制環(huán)節(jié)中一個重要組成部分。

 

?應(yīng)用范圍

作為快速、簡單、可靠的X射線單晶定向儀,弗萊貝格Omega/Theta Omega/Theta X射線衍射儀-單晶硅定向儀被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)的質(zhì)量控制、材料研發(fā)等領(lǐng)域,主要用于超高速晶體定向和搖擺曲線的測量。

 

?應(yīng)用技術(shù)

  • 可用于生產(chǎn)的立式XRD
  • 轉(zhuǎn)移技術(shù):可高效率進行多個鑄錠同時定向(堆疊)
  • 同時測定(Si、Ge、BBO、YAG、SiC、GaN、藍寶石、渦輪葉片等200多種晶體材料)幾乎所有晶體方向取向。
  • 快速測量晶體取向,測量時間僅需5秒,精度:0.003°
  • 自動晶片分類和處理
  • 搖擺曲線測量和3Dmapping繪圖 、晶圓表面翹曲度偏差檢測
  • 整塊晶圓和渦輪葉片晶體取向mapping 
  • 設(shè)備操作簡單、快捷、方便,適用于各研究機構(gòu)和全自動化生產(chǎn)線

 

?應(yīng)用實例

案例1:

藍寶石取向 mapping、搖擺曲線測量:窄反射峰=表面質(zhì)量好

 

案例2:

SiC 取向 mapping、搖擺曲線測量:寬反射峰=晶體表面局部干擾

 

案例3:

碳化硅晶圓檢測案例——晶體取向mapping

1.總傾斜偏差mapping

 

2.表面傾斜偏差mapping

 

3.垂直方向傾斜偏差mapping

 

4.水平傾斜偏差mapping

 

 

5.搖擺曲線mapping

 

 

 

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