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當前位置:首頁產品中心三維X射線顯微鏡(XRM)Freiberg-Omega/Theta XRDX射線單晶定向儀-Omega掃描

X射線單晶定向儀-Omega掃描
產品簡介

德國Freiberg Instruments(弗萊貝格儀器)公司的Omega/Theta XRD(X射線單晶定向儀-Omega掃描)主要針對半導體晶體材料和光學材料生產研發(fā),該儀器采用*的Omega掃描方法測定晶體結構并檢測單晶取向,具有成熟的單晶X射線衍射儀(XRD)技術,且可集成至全自動生產線中,是一臺可測大直徑的全自動晶圓和鑄錠定向檢測分揀設備。

產品型號:Freiberg-Omega/Theta XRD
更新時間:2024-07-11
廠商性質:代理商
訪問量:2259

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?產品介紹

德國Freiberg Instruments(弗萊貝格儀器)公司的Omega/Theta XRD(X射線單晶定向儀-Omega掃描)主要針對半導體晶體材料和光學材料生產研發(fā),該儀器采用*的Omega掃描方法測定晶體結構并檢測單晶取向,具有成熟的單晶X射線衍射儀(XRD)技術,且可集成至全自動生產線中,是一臺可測大直徑的全自動晶圓和鑄錠定向檢測分揀設備。

 

?技術特點

 --全自動的垂直三軸衍射儀,使用Omega掃描和Theta掃描方法以及搖擺曲線測定各種晶體的方向。配備可容納長達450毫米和30公斤的樣品及樣品架;

 --自動化測量,并通過定制軟件進行訪問。利用Omega掃描,可在晶體旋轉(5秒)中確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活,但每次掃描只產生一個方向分量;

 --準確地確定傾斜角度,Theta掃描精度達到0.001°;

 --模塊化系統(tǒng),并配備了多功能需求擴展。

 

?行業(yè)應用

具有多種幾何形狀和大小的樣品 

根據材料和產量的不同,晶體樣品可以表現出多種尺寸和幾何形狀。Omega/Theta X射線衍射儀(X射線單晶定向儀-Omega掃描)可以處理大塊鋼錠或鋼球和實驗合成的微小晶體。

 

非線性光學材料(NLO):晶體質量和定向 

與典型的無機金屬、半導體和絕緣體相比,NLO材料具有更復雜的晶體結構和更低的對稱性。這些晶體通常被切割成尺寸在毫米范圍內的小棒,而對這種小晶體的表面質量測定常??梢越沂揪w內部的結構缺陷和裂紋。通過對Omega/Theta的設計進行的一些特殊的修改,我們的定向儀能夠確定許多NLO材料,如LBO, BBO和TeO2的的晶向。

 

平面方向的標記和測量 

Omega掃描能夠在一次測量中確定完整的晶體方位。因此,平面方向可以直接識別。這是一個有用的功能,以標記在平面方向或檢查方向的單位或缺口。

 

搖擺曲線:晶體表面評價 

搖擺曲線測量對晶格內的缺陷和應變場很敏感。將這種技術與映射階段相結合,可以掃描晶體表面并確定缺陷區(qū)域。通過裝備一個具有映射階段和雙晶體的Omega/Theta衍射儀,可以直接測量晶體表面某一反射的搖擺曲線映射。

如下圖顯示的結果,這種映射的碳化硅晶圓片的內部呈現出兩到三倍于搖擺曲線的FWHM。這可能與表面劃痕或生長缺陷有關。

 

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