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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心三維X射線顯微鏡(XRM)弗萊貝格--DDCOM用于晶體定向測(cè)量的桌面型X射線衍射儀

用于晶體定向測(cè)量的桌面型X射線衍射儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

德國(guó)弗萊貝格DDCOM(用于晶體定向測(cè)量的桌面型X射線衍射儀)主要應(yīng)用于單晶的*晶格取向的確定,其采用Omega掃描方法對(duì)樣品進(jìn)行超高速晶體定位測(cè)量,可以測(cè)定立方晶體的任意位置取向,該設(shè)備配置了氣冷式X射線管,操作過(guò)程無(wú)需水冷,適用于科學(xué)研究及生產(chǎn)質(zhì)量控制。

產(chǎn)品型號(hào):弗萊貝格--DDCOM
更新時(shí)間:2024-07-11
廠商性質(zhì):代理商
訪問(wèn)量:2009

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?產(chǎn)品介紹

德國(guó)弗萊貝格DDCOM(用于晶體定向測(cè)量的桌面型X射線衍射儀)主要應(yīng)用于單晶的*晶格取向的確定,其采用Omega掃描方法對(duì)樣品進(jìn)行超高速晶體定位測(cè)量,可以測(cè)定立方晶體的任意位置取向,該設(shè)備配置了氣冷式X射線管,操作過(guò)程無(wú)需水冷,適用于科學(xué)研究及生產(chǎn)質(zhì)量控制。

?技術(shù)特點(diǎn)

 --確定單晶的*晶格取向

 --使用Omega掃描方法的超高速晶體定位測(cè)量

 --立方晶體任意未知取向的測(cè)定

 --特別設(shè)計(jì)用于點(diǎn)陣方向的方位設(shè)置和標(biāo)記

 --氣冷式x射線管,無(wú)需水冷

 --適合于研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制

 

所有想要的晶體方向參數(shù)在5秒內(nèi)一次旋轉(zhuǎn)中被捕獲

 

?可測(cè)量材料的例子

 --立方/任意未知方向:Si, Ge, GaAs, GaP, InP 

 --立方/特殊取向:Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3

 --正方:MgF2, TiO2, SrLaAlO4

 --六方/三角:SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英),Al2O3(藍(lán)寶石),GaPO4, La3Ga5SiO14

 --斜方晶系:Mg2SiO4 NdGaO3

 --另可根據(jù)客戶(hù)的要求進(jìn)一步選料

 

 

?DDCOM的應(yīng)用
 

平面方向的標(biāo)記和測(cè)量

 --在晶圓片的注入和光刻過(guò)程中,需要平面或凹槽作為定位標(biāo)記。切割過(guò)程中,晶片必須正確地對(duì)準(zhǔn)晶圓片上易于切割的晶格面。因此,檢查平面或缺口的位置至關(guān)重要。

 --為了確定平面或缺口的位置,就需要測(cè)量平面內(nèi)的部件。由于Omega掃描法可以在一次測(cè)量中確定完整的晶體方位,基于此便可以直接識(shí)別在平面方向或檢查方向的單位或缺口。

  --DDCOM用于晶體定向測(cè)量的桌面型X射線衍射儀通過(guò)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán),可以將任何平面方向轉(zhuǎn)換成用戶(hù)的特定位置。在必須定義平面方向的情況下,可以大大簡(jiǎn)化將標(biāo)記應(yīng)用到特定平面方向的過(guò)程。

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